采用中频非平衡磁控溅射方法在箔片空气轴承的主轴材料40Cr钢、支承元件铍青铜箔片及硅片上制备了钛掺杂的DLC膜, 并对膜的结构、摩擦磨损性能、结合强度以及内应力等进行了表征。结果表明: 所制备的DLC膜含有较多的sp2键, 与基体结合力强, 两种轴承材料上沉积DLC膜之间的摩擦配副的减摩抗磨效果较好, 摩擦因数在0.06~0.08, 磨损率为4.8×10-8 mm3·N-1·m-1, 可用于箔片空气轴承表面的固体润滑。
所属栏目
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所长基金资助项目(K587-09-JS)
收稿日期
2009/11/252010/9/15
作者单位
孟玉堂:中国工程物理研究院机械制造工艺研究所, 绵阳 621900
汤光平:中国工程物理研究院机械制造工艺研究所, 绵阳 621900
魏齐龙:中国工程物理研究院机械制造工艺研究所, 绵阳 621900
王立平:兰州化学物理研究院所固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
郑越青:中国工程物理研究院机械制造工艺研究所, 绵阳 621900
备注
孟玉堂(1983-), 男, 四川巴中人, 助理工程师, 学士。
引用该论文:
MENG Yu-tang,TANG Guang-ping,WEI Qi-long,WANG Li-ping,ZHENG Yue-qing.Preparation and Characterization of Ti-Doped DLC Film on Foil Air Bearing Surface[J].Materials for mechancial engineering,2011,35(1):69～71
孟玉堂,汤光平,魏齐龙,王立平,郑越青.箔片空气轴承表面钛掺杂DLC膜的制备与表征[J].机械工程材料,2011,35(1):69～71
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